반도체 제조용 초고순도 가스에 포함된 미량 수분은 웨이퍼 산화, 입자 발생, 설비 부식의 원인이 될 수 있습니다.
안정적인 공정 품질을 위해서는 가스 공급원뿐 아니라 실제 사용 지점에서도 가스의 건조 상태를 확인하는 것이 중요합니다.
본 자료는 공정 가스 공급 라인과 FOUP·로드록 퍼지 구간의 주요 노점 측정 위치와 수분 관리의 필요성을 설명합니다.
또한 AMT 시리즈 노점 트랜스미터와 SADPmini2 시리즈 휴대용 노점계를 활용한 연속 감시 및 현장 점검 방안을 소개합니다.
반도체 공정의 수분 관리와 시운전·정비 후 배관의 건조 상태 확인을 위한 참고 자료로 활용하시기 바랍니다.

추천 장비 : AMT, AMT-Ex, SADPmini2, SADPmini2-Ex

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