볼 수 없는 것

그것을 측정합니다

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1. 주요 특징

①접 가스부는 부식에 강하고、높은 장기안정성을 실현

②센서부와 모니터부는 분리가능（ＰＣ이용 가능）

③새로운 스팩트럼 분석기술에 의해 장치를 소형화

④보기 쉬운 터치판넬로 조작의 편리성

⑤Case내의 불활성 가스퍼지가 가능

⑥교정증명서의 발행이 가능

⑦ 한국표준과학연구원에서 KOLAS 인증 완료.

2. 적용 분야

● 반도체의 연구・개발・제조공정

● 반도체용 고순도가스의 연구・개발・제조공정

● 의료용 고순도가스의 연구・개발・제조공정

● 의료품의 연구・개발・제조공정

● 리튬이온전지（LiB）의 연구・개발・제조공정

● 전고체 전지의 연구・개발・제조공정

● 유기EL・평판 디스플레이의 연구・개발・제조공정

3. 사양

수분측정범위	12 ppbv ~ 20 ppmv(노점: -100 ~ -55 ℃) in N2
응답시간	50 ppv 에서 1000 ppbv 사이 약 60초(90%응답)
시스템 정밀도	± 4% 또는 ± 12 ppbv
샘플가스 온도	5 ~ 60 ℃
샘플 유량	< 2.0 l/min
샘플 압력	86 ~ 106 kPaA(옵션: ~ 900 kPaA)
샘플 가스 종류	air, N2, O2, Ar(소프트웨어에서 설정 가능, 기타 가스는 상담 요망)
측정치	체적 몰뷴율[ppmv], 계측부 가스 온도[℃], 계측가스압력[PaA]
연산치	노점 / 노점온도 [℃]
디지털 출력	RS-232
옵션 출력	4 - 20mA / 릴레이 접첨 출력
접속 연결부	샘플가스 In-Out : 1/4 inch(Fujikin: UJF-RP)
공급 전원	부속 AC 아답터(100 ~ 240 V, 50/60 Hz, 1.4 Max)
중량	센서부 : 약 5 kg (AC 아답터 제외) 모니터: 약 1.7 kg
사이즈	센서부 : 150 x 300 x165 mm 모니터 : 150 x 75.4 x 200 mm